芯源微(688037)8月27日晚发布2021年半年报。上半年，公司实现营业收入3.51亿元，同比增长461.85%；实现归属于上市公司股东的净利润3506.99万元，同比增长464.05%。

　　芯源微主要从事半导体专用设备的研发、生产和销售，产品包括光刻工序涂胶显影设备(涂胶/显影机、喷胶机)和单片式湿法设备(清洗机、去胶机、湿法刻蚀机)，可用于8/12英寸单晶圆处理(如集成电路制造前道晶圆加工及后道先进封装环节)及6英寸及以下单晶圆处理(如化合物、MEMS、LED芯片制造等环节)。

　　芯源微表示，公司坚持以市场方向和客户需求为导向，不断对产品进行技术完善和革新，持续加大自主研发力度。报告期内，公司研发支出4939.76万元，占营业收入的14.08%。截至2021年6月30日，公司共获得专利授权212项。其中，发明专利159项(中国大陆地区发明专利143项，中国台湾地区发明专利14项，美国发明专利2项)，实用新型专利31项，外观设计专利22项；拥有软件著作权49项。

　　在市场销售方面，公司生产的前道涂胶显影设备已陆续获得上海华力、长江存储、武汉新芯、中芯绍兴、厦门士兰集科、上海积塔、株洲中车、青岛芯恩、中芯宁波、昆明京东方等多个前道大客户订单；前道Spin Scrubber清洗机设备已在中芯国际、上海华力、厦门士兰集科等多个客户处通过工艺验证，并已获得国内多家Fab厂商的批量重复订单。

　　涂胶显影设备与单片式湿法设备已经从先进封装领域、LED领域拓展到MEMS、化合物、功率器件、特种工艺等领域，作为主流机型应用于台积电、长电科技、华天科技、通富微电、晶方科技、华灿光电、乾照光电、澳洋顺昌、中芯绍兴、中芯宁波等国内一线大厂。公司通过借鉴前道产品的先进设计理念和技术，对后道设备、小尺寸设备的架构进行优化，提升了工艺水平和产品产能。应用了前道先进设计理念及技术的后道产品在国内多家封装大厂Fan-out产线应用，目前已经成为客户端的主力量产设备。

　　截至目前，公司生产的用于集成电路前道晶圆加工领域及后道先进封装、LED、MEMS、化合物、功率器件、特种工艺等领域的涂胶显影设备和单片式湿法设备已累计出厂1000余台套。

（文章来源：中证网）